Universität Wien

280122 UE Feldemissionsrasterelektronenmikroskopie und Ionenstrahlanwendungen (2025W)

Prüfungsimmanente Lehrveranstaltung

An/Abmeldung

Hinweis: Ihr Anmeldezeitpunkt innerhalb der Frist hat keine Auswirkungen auf die Platzvergabe (kein "first come, first served").

Details

max. 10 Teilnehmer*innen
Sprache: Deutsch, Englisch

Lehrende

Termine (iCal) - nächster Termin ist mit N markiert

Vorbesprechung am Montag 13. Oktober 2025, 14:00 – 15:00 (Raum UZA 2A272)
Die Teilnahme an der Vorbesprechung ist für alle Kursteilnehmer*innen verpflichtend!!!

Die LV wird als Blockkurs vor Ort voraussichtlich im Zeitraum 12.-20. Februar 2026 abgehalten.
Die Terminfestlegung erfolgt in Abstimmung mit den Studierenden im Zuge der Vorbesprechung.


Information

Ziele, Inhalte und Methode der Lehrveranstaltung

Ziele:
Die Studierenden haben die speziellen instrumentellen Besonderheiten der Feldemissionsrasterelektronenmikroskopie in Theorie und Praxis kennengelernt und sind mit Anwendungsmethoden des fokussierten Ionenstrahls (FIB) vertraut. Die Studierenden erstellen selbständig elektronenoptische Aufnahmen bei hoher räumlicher Auflösung unter Verwendung verschiedener Detektoren (SED, BSED, FSD, STEM) und erlernen die Anfertigung von FIB-Querschnitten. Weiters erhalten die Studierenden Einblick in die praktische Anwendung der EBSD Methode. Sie sind in der Lage, die verschiedenen Methoden für Mikrostruktur- und Texturanalytik bei hoher räumlicher Auflösung zur Bearbeitung eigener erdwissenschaftlicher Fragestellungen zu nutzen.

Inhalte:
Theoretische Einführung: spezielle instrumentelle Besonderheiten des Quanta 3D FEG Gerätes (E-Quelle and E-Säule, FIB, Detektoren)
Übungen am Quanta 3D FEG Gerät: FIB-FESEM Gerätekomponenten; Gerätesteuerungssoftware; Probenwechsel; Sekundärelektronen- und Rückstreuelektronen-Abbildung; STEM-Abbildung; FIB; Gasinjektionssysteme für Pt- und C-Abscheidung; Verwendung des Mikromanipulators; FSD; EBSD; EDX

Art der Leistungskontrolle und erlaubte Hilfsmittel

Im Rahmen der Übungen erstellt jede/r Studierende selbständig SED- und BSED-Aufnahmen nach Einstellung der Elektronenstrahlparameter (UE SEM), sowie einen Querschnitt unter Verwendung des fokussierten Ionenstrahls (UE FIB). Weiters ist ein schriftliches Workflow-Protokoll über sämtliche in den Übungen behandelten Methoden zu verfassen.
Abgabe des Workflow-Protokolls bis 22. März 2026.

Mindestanforderungen und Beurteilungsmaßstab

Durchgehende Anwesenheit während der Übungen ist erforderlich.
Beurteilungskriterien: aktive Teilnahme an den Übungen; Qualität (Vollständigkeit, Korrektheit, klare Strukturierung) des eigenständig verfassten schriftlichen Workflow-Protokolls. Nach der ersten Korrektur des Workflow-Protokolls wird eine Verbesserungsmöglichkeit eingeräumt.
Die erreichten Punkte für die Teilleistungen (UE-SEM, UE-FIB, Workflow-Protokoll) werden zur Ermittlung der Gesamtnote addiert:
UE-SEM: max 20 Punkte
UE-FIB: max 20 Punkte
Workflow-Protokoll: max 60 Punkte

Gesamtpunktezahl für positiven Abschluss: maximal 100 Punkte, minimal 50 Punkte

Beurteilungsschlüssel:
100-89 Punkte (Sehr Gut, 1)
88-76 Punkte (Gut, 2)
75-63 Punkte (Befriedigend, 3)
62-50 Punkte (Genügend, 4)
49-0 Punkte (Nicht Genügend, 5)

Prüfungsstoff

Individuelle Arbeit unter Aufsicht am Quanta 3D FEG Gerät (Erstellung von SED- und BSED Aufnahmen; Erstellung eines Querschnittes unter Anwendung des fokussierten Ionenstrahls) während der Übungen.
Eigenständige Verfassung eines Workflow-Protokolls über sämtliche Methoden, die in den Übungsteilen behandelt wurden.

Literatur

Kursunterlagen werden via Moodle bereitgestellt werden.

Zuordnung im Vorlesungsverzeichnis

MA-ERD-W3.3

Letzte Änderung: Di 14.10.2025 10:27