260165 VO Vakuumphysik und Messtechnik (2006W)

Die Vorlesung "Einführung in die Vakuum- und Oberflächenphysik" (VO-Nr. 804181) gibt einen Überblick sowohl über die grundlegenden
Phänomene als auch über die physikalischen und technischen Einsatzbereiche dieses Gebiets. Wir befassen uns dabei mit dem gesamten Druckbereich von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakum und Extremvakuum (< 10-11 mbar). Im Speziellen betrifft das die Themen Strömungsvorgänge, Vakuumpumpen, Adsorptions- und Desorptionsprozesse, Ionisationsphänomene, Sekundärelektronenemission, Zerstäubungsprozesse, sowie alle Aspekte der Vakuum-Messung (Gasdichte, Gasströmung, Druck, Saugvermögen). Diese Themen werden soweit wie möglich auch durch Anschauungsobjekte illustriert, sowohl im Hörsaal als auch in einem Labor an der TU Wien.

Das vorrangige Ziel der Vorlesung ist es, die Hörer zu motivieren und zu befähigen, die grundlegenden Vorgänge zu verstehen und charakteristische Grössen wie Saugvermögen, Pumpzeiten, und auch einschlägige messtechnische Daten rasch berechnen bzw. abschätzen zu können. Ein weiterer Schwerpunkt ist die Befassung mit Anwendungsbeispielen aus Forschung (Kernfusion, Teilchenbeschleuniger, Gravitationswellen-Detektoren, oberflächenanalytische Geräte) und Industrie (Mikroelektronik, Halogenlampen, optische und andere Beschichtungen, Hartmetalle, etc.)